纳米团簇束流沉积系统

　　离子束沉积作为纳米结构的基本组成单元，团簇或纳米颗粒在纳米科学中具有关键的地位。我们设计研制了两套气体聚集型团簇源：基于热蒸发的气体聚集团簇束流源和磁控等离子体聚集型团簇源。以团簇源为中心构成了团簇束流实验和沉积系统。

　　作为纳米结构的基本组成单元，团簇或纳米颗粒在纳米科学中具有关键的地位。我们设计研制了两套气体聚集型团簇源：基于热蒸发的气体聚集团簇束流源和磁控等离子体聚集型团簇源。以团簇源为中心构成了团簇束流实验和沉积系统。